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穿透式電子維氏硬度計（Transmission Electron Micooscope，TEM）

是以提供鎢絲或6錋化鑭燈絲高倍電壓而產生電子并將之聚集成電子束，
電子束經聚光鏡后照射于標本上，再經過呈像系統的聚焦與放大后所產生的物像，可達數十萬倍乃至百萬倍，再經由影像轉換系統 投射到螢光板上或照相底片上進行觀察。底片必須經過顯影及定影等過程沖洗成負片，
再經由暗房技術沖印成相片以便于判圖及發表。