Scanning Probe Microscope即掃描探針維氏硬度計，也可以稱是表面分析儀器。是綜合運用全自動精密子技術、激光技術、等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品 。
當然除了掃描探針維氏硬度計,還有原子力維氏硬度計AFM,激光力維氏硬度計LFM，磁力維氏硬度計MFM等等一系列的高科技產品。
在此著重說明掃描探針維氏硬度計的優點與缺點：
1.它的大優點便是可以成三維的樣品表面圖像，還可對材料的各種不同性質進行研究。
2.極高的分辨率
3.使用環境寬松
4.應用領域是寬廣
5.價格相對于電子維氏硬度計等大型儀器來講是較低的
然事物不都是精美的，它也有缺陷的地方
1.掃描速度受到限制， 測效率較其他全自動精密維氏硬度計技術低
2.不可以像電子維氏硬度計的大范圍連續變焦
3.定位和尋找特征結構比較困難
4.對樣品表面的粗糙度有較高的要求
5.探針的幾何寬度、曲率半徑及各向異性會引起成像的失真
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