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亮視野與暗視野(bright field/dark field)
簡單的說，亮視野就是直接接收反射光，暗視野則是接收散射光

一般光學硬度計皆是在亮視野底下操作，而暗視野則可以觀察到物體的輪廓，把一些結構上的問題顯現出來。在亮視野下，物體平滑的區域接收到正向打光的光源并反射至物鏡而產生亮的影像，而表面粗糙的區域則因為散射的問題，相對起來就比較暗，這種暗是因為光散射的問題而不是因為材質吸收光的關係，而在暗視野底下，照明光源的中央被一遮光罩遮住，只留下周圍的光源斜射至觀察物上，在此大角度的照射下，光滑的表面所反射的光無法進入物鏡，因此觀察物的背景大體上都是暗的，至于粗糙的表面則因為散射的作用得以接收到反射光，所以反而是一些輪廓有明亮的影像
說明著入射光與反射光角度的關係，
則是分別顯示在亮視野與暗視野底下所拍攝到的晶片表面圖。