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普通光學硬度計使用的是特殊玻璃制的透鏡，利用光學原理改變光的行進；而電子硬度計使用的是磁透鏡，利用磁場改變電子束。

普通光學硬度計的大倍數一般在1000～2000倍，解析度一般在0.1um~0.25um左右；而電子硬度計的解析度一般都在0.01nm~0.4nm左右。

普通光學硬度計可在一般大氣壓下使用；而電子硬度計一般都需在樣品室處于真空時使用。

普通光學硬度計受到光學的限制僅能用于觀測鑒定被測物體；而掃描電子硬度計可配合其他儀器，如能譜、波譜等儀器使儀器等等講起應用到很多領域。

總結如下：

發射源不同；透鏡不同；放大倍數和解析度不同；使用環境不同；應用的領域不同。